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高純?yōu)R射靶材

發(fā)布時(shí)間:2023-09-25 11:59:16 0

利用離子源產(chǎn)生的離子轟擊固體表面,使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體稱(chēng)為濺射靶材, 是集成電路制造過(guò)程中的關(guān)鍵材料

根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域,分為半導(dǎo)體靶材、面板靶材、光伏靶材等。高純?yōu)R射靶材制造環(huán)節(jié)技術(shù)門(mén)檻高、設(shè)備投資大,在濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)的企業(yè)數(shù)量呈現(xiàn)金字塔型分布

半導(dǎo)體濺射靶材行業(yè)集中度很高,前五大廠商占比超過(guò)80%。具有規(guī)?;a(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量相對(duì)較少,主要分布在美國(guó)、日本等國(guó)家和地區(qū)。

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